記者6月16日從松山湖材料實驗室獲悉，松山湖材料實驗室精密儀器研發(fā)團隊成功自研臺階儀，實現(xiàn)了國產化臺階儀零的突破，加速國產替代。
▲全國首臺國產化臺階儀
據(jù)悉，臺階儀，又名探針式表面輪廓儀，用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測量，是微電子、半導體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、科學研究和材料科學等領域不可缺少的關鍵測量設備。長期以來，此類儀器被美國Bruker、美國KLA、日本Kosaka三家廠商壟斷，國內尚無廠商可提供同類產品。
“臺階儀的研發(fā)，需要‘四個超’：超精細的運動控制，超精密位移傳感，超低噪聲信號采集，超高平整度零部件等關鍵技術。”團隊負責人許智指出，松山湖材料實驗室精密儀器研發(fā)團隊在這些領域均有豐富的經驗積累和扎實的技術儲備。而且，基于此前自主研發(fā)的系列化壓電驅動納米位移臺產品和掃描探針顯微鏡制備技術，可以快速完成方案設計，并開始功能樣機、工程樣機的迭代開發(fā)。
據(jù)悉，該項目2020年12月內部立項，2021年5月，測試樣品，2022年4月，樣機進產線調試，2022年6月，正式機臺投入使用。至此，國產化臺階儀邁出了里程碑式一步。
“關鍵測量儀器設備實現(xiàn)國產化，最關鍵之處就在于實現(xiàn)了自主可控?，F(xiàn)已交付的臺階儀可滿足企業(yè)實際使用的指標要求，且對比同類進口設備，成本降低了約30%?！痹S智表示。
▲精密儀器研發(fā)團隊臺階儀項目組
值得一提的是，項目組研制了三種不同測試需求的型號，可供客戶根據(jù)需要選擇相應配置，并配套自研軟件實時顯示測量圖表數(shù)據(jù)。目前，團隊正在與十余家有相關需求的企業(yè)、科研院所洽談合作中。
據(jù)悉，松山湖材料實驗室精密儀器研發(fā)團隊以自主知識產權的技術為核心，開展精密科研儀器和工業(yè)自動化設備的產業(yè)轉化。其研發(fā)的桌面式掃描電子顯微鏡、大行程納米位移臺等產品為國內唯一量產，等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)、掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)等產品達到國際一流、國內領先水平。
“精密儀器研發(fā)團隊以國家戰(zhàn)略為導向，以市場需求為目標，力爭成為有擔當、有作為的尖端儀器產業(yè)化隊伍。”許智表示。